在智能傳感技術(shù)飛速發(fā)展的今天，適度視場(chǎng)角設(shè)計(jì)讓MEMS傳感器在精準(zhǔn)感知與環(huán)境適應(yīng)性間找到了完美平衡，成為多種智能應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)。MEMS微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器結(jié)合了微電子與微機(jī)械技術(shù)，能夠?qū)⑼饨缥锢硇盘?hào)轉(zhuǎn)